真空熱壓 燒結爐 鉬帶溫場 主要技術參數
1 電源電壓:AC380V±10% 50Hz 三相五線制
2 使用溫度:≤1300℃
3 設計溫度:1500℃
4 工作區(qū)尺寸:φ100*100mm
5 加熱區(qū)尺寸:φ150x200mm
6 加熱區(qū):一區(qū)
7 控溫精度:±1℃
8 工作區(qū)均溫性:≤±5℃
9 功率:≤20KW
10 冷態(tài)極限真空度:6.67*10-3Pa(空爐、冷態(tài)、烘烤除氣后)
11 壓升率:≤5Pa/h
12 充氣氣氛:氬氣或其他惰性氣體
13 充氣壓力(微正壓):≤0.015MPa
14 壓力:≤5T 底部液壓加壓(數顯、自動調壓、自動保壓、伺服電動)
15 壓頭直徑:Ф85mm
16 壓力波動:≤±100N,位移精度:0.01mm
17 壓力行程:0~100mm(數顯)
18 壓力控制:伺服電動缸加載
19 溫度控制與測量:一控兩測,上中下三點分布(S型熱電偶)
20 壓頭材質:熱室外水冷不銹鋼+熱室內為高強石墨壓塊
真空熱壓 燒結爐 鉬帶溫場 設備的組成和結構
該設備由爐體、加熱隔熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、伺服電動缸加壓系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等幾部分組成。
1 爐門
爐門采用雙層不銹鋼(SUS304)水夾層法蘭結構,與法蘭組焊成一個整體。其中內壁拋光,外壁拉絲處理。爐門上設有冷卻水進出接口、觀察窗,爐門鎖緊裝置等。門鎖緊采用手輪壓緊的方式,可保證設備在微正壓下工作。
2 爐體
爐體采用雙層不銹鋼(SUS304)水冷結構,爐體上下分別組焊有上下壓頭安裝座。正面法蘭平面上開設有燕尾型密封槽,采用O型硅橡膠密封圈密封。爐內壁拋光,外壁拉絲處理。爐體側面設有冷卻水進出口、真空抽氣口、熱電偶安裝口,電極安裝座等。
3 龍門架
龍門架由上、下橫梁、雙立柱、箱體等組成,作為上下壓頭支座及爐體支撐。
4 加熱及隔熱系統(tǒng)
加熱采用優(yōu)質鉬絲/帶作發(fā)熱體,前后兩側分布,產品受熱均勻。隔熱采用多層金屬反射屏,內層為多層鉬反射屏,外層為SUS304反射屏,保溫效果好,耐沖擊性好。整個隔熱屏采用金屬框架固定,便于安裝與維護。溫度控制采用一支S型熱電偶,同時在主控溫的上下位置(工作區(qū)內)布置兩個監(jiān)測熱電偶,用于監(jiān)測溫場的溫度。提高設備的安全使用性能
5 真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)采用二級泵配置,由一臺TK-200擴散泵,一臺TRP-36直連泵、高真空閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測量規(guī)管等組成,真空管道與泵的聯(lián)接采用金屬波紋管減緩震動,真空度的測量由數顯復合真空計執(zhí)行。